半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
项目流程环境
该产业化园聚众了十余家光电器件对应工厂,定制日处置效率5000吨,要有处置来自五湖四海其他工厂的混合着污电镀废水 。因各工厂生孩子工序相互影响大,污电镀废水 化学物质错综复杂变化多端,处置麻烦较高。
焦化废水含量及从何而来
废液常见具有几大类:高浓硫酸酸度有机会化学废液(光刻胶、显影液液等)、含氟废液(刻蚀生产工艺程序)和酸性废液(擦拭生产工艺程序)。特有化学成分具有异丙醇、四甲基氢氧化物铵等难可降解有机会化学物,以其氟化物、氟化物等无机物污染破坏物。废液COD起伏大(500-3000mg/L),氟化物浓硫酸酸度100-500mg/L,氟化物50-150mg/L。
整理的工艺流量
主要采用"划分回收+分质除理+低效高度除理"的创新技术经营模式:
品牌组织结构分级预清理:含氟电镀废水单独的获得并预清理
园林污水管道分类管理传送操作系统
结合控制池平均水的硬度
有级混凝土放置删去浮悬物和橡胶胶体部分
快速生物工程现象器(HBR)办理有机质生态破坏物
O3催化剂的作用氧化物可降解难可分解有机质物
反渗透设备法装置确定脱盐治理
紫外光线清洁消毒抓好出液防护
特意设备了网络监测体统体统和半自动加量体统,怎样水硬度浮动。
以后郊果
设计运营两年来,补救作用正规正规。水流COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氯离子<5mg/L,总氮<15mg/L,提高地下水监测Ⅳ类的标准,区域回收于经济区绿化带及降温塔补充水分,回收率达到30%。今年下降生鲜水利用约五十万吨,为经济区企业公司节约了电费数百人多万元。